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砷烷

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品主要作用:用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、擴散、化學(xué)氣相淀積、離子注入等工序

產(chǎn)品中文名:砷烷

產(chǎn)品英文名:Arsenic Hydride

化學(xué)式:AsH3

CAS號:7784-42-1

UN 號:2188

純度:99.9999%

閥門型號:DISS632


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