產(chǎn)品主要作用：用于等離子干刻工序

產(chǎn)品中文名：八氟環(huán)丁烷

產(chǎn)品英文名：Octafluorocyclobutane

化學(xué)式：C4F8

CAS號(hào)：115-25-3

UN 號(hào)：1976

純度：99.999%

閥門型號(hào)：CGA660/DISS716