產(chǎn)品主要作用：半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、載流等工序

產(chǎn)品中文名：氦氣

產(chǎn)品英文名：Helium

化學式：He

CAS號：7440-59-7

UN 號：1046

純度：99.999%   99.9999% 

閥門型號：CGA580